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半导体/电子特气领域纯化设备供应商

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产品系列

组合2
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PIS-ZH-S系列组合烃纯化器

系列

Series

杂质

Impurity

入口

Inlet(ppm)

出口

Outlet(ppm)

PIS-ZH-S

O2

<200

<1

H2O

<200

<1

总S

<20

<1

Pressure Drop

<1bar

Flow

10~300Nm3/h

 

工艺介绍:

(1)使用特殊纯化材料,通过吸附方式脱除S杂质。

(2)通过物理和化学吸附方式脱除O2、CO2、H2O等杂质。

(3)吸附反应器吸附饱和后可通氢加热再生,反复使用。

 

 

应用领域:

化工行业

高校实验室

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Copyright © 2023 大连科立恩气体净化科技有限公司 All Rights Reserved. 备案号:辽ICP备2022010429号

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